大连空气源热泵

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温度信号检侧对空气源热泵意味什么?

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温度信号检侧对空气源热泵意味什么?

发布日期:2018-10-10 00:00 来源:http://www.dlygrb.com 点击:

  大连空气源热泵主要技术表现为两种:一种是以美国AG、MPT、德国AST等公司为代表的单点测温技术、热源为线状光源(灯管)的双面加热形式,利用红外热辐射加热的原理对硅晶片直接加热实现。另一种是美国应用材料公司独特的多点侧沮技术、热源采用点状光源(灯泡)、单面加热形式,球形灯泡发出的光经过高透过率的石英窗口进入反应腔内对位于硅片支排环上的硅片加热.


  温度信号检侧是通过多个响应时间非常快的红外式探针来实时检测,品片在加热过程中高速旋转,使得晶片表面与反应气体之间的接触概率相差无几。炉料的散热功能,炉料的散热功能越好,内部热量向外丢失越快,热量很容易就损耗在反响料之外,致使必定点的温度下降。可是若是反响料的散热功能欠好,则利于热量的会聚,使得热量向外传递时刻加长,有利于反响料对热量的吸收和反响地进行,进步必定点的温度。


  应都在高真空条件下(4~13Pa)进行,反响温度1200℃左右,芯温度很快就能到达所需值,因而反响时刻的长短取决于反响料的厚度,即炉芯外围反响料到炉体保温层的间隔。能够经过规划炉体尺度操控供电时刻。

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